射頻電源的功率選擇原則?15CM的電極距離,要配多大功率的電源
電源功率大小選擇和你的工藝有關(guān),氣壓大小,處理物件大小,處理時間等等,你那個15cm也不準確,因為你的極板應(yīng)該是對應(yīng)腔體的,還和你用多少層電極有關(guān)
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