圖 2：作為表面處理工具的等離子體大多數(shù)情況下是在一個(gè)低壓真空腔室內(nèi)產(chǎn)生。隨著技術(shù)的進(jìn)步在大氣壓力下產(chǎn)生等離子體已經(jīng)開始普及，并且被越來越多的應(yīng)用。圖 2a是PVA Tepla公司的臺(tái)式低壓等離子體系統(tǒng)。這種類型的系統(tǒng)具有先進(jìn)的性能，很適合于單元式工業(yè)以及實(shí)驗(yàn)室中適用。圖 2b是 PVATepla公司的大氣壓等離子體筆的特寫。這種設(shè)計(jì)把電壓和電流安全的控制在等離子體筆體內(nèi)部，它可用于在線式應(yīng)用或者選擇性的局部處理。

假設(shè)一個(gè)固體的表面吸附了碳?xì)湮廴疚铩＿@些污染物很容易與等離子化的氧元素反應(yīng)。氧攻擊吸附的碳?xì)浠衔铮瑥亩D(zhuǎn)變成CO2 和 H2O。圖3是一個(gè)簡(jiǎn)單的反應(yīng)機(jī)理。對(duì)于易氧化的表面，可以選擇用等離子化的氫氣進(jìn)行表面清潔。氫不僅可以把表面的部分有機(jī)物變成揮發(fā)性的烴，還可以減少銅、鎳、銀等金屬的氧化。 

等離子體的化學(xué)特性幾乎取決于原料氣體。例如，O2, N2, N2O, CO2等可產(chǎn)生氧化性等離子體。這些氣體用于把表面對(duì)于極性溶液變得更加浸潤(rùn)，或者親水。這是通過等離子體誘導(dǎo)共價(jià)的氧鍵變?yōu)轸驶?、羧基、羥基等官能團(tuán)來實(shí)現(xiàn)的。這些極性官能團(tuán)可增加表面的能量，因此，可使組織細(xì)胞更好的黏附，或者使分配到診斷平臺(tái)上的分析物可以更容易的流過微流體通道。